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多晶硅片

多晶硅片
详细信息
多晶硅片规格
 
导电类型 电阻率 (Ω.cm) 碳含量 
(atoms/cm3)

氧含量
(atoms/cm3)

少子寿命 (μs)
P型 0.5~3 ≦1×1018 ≦2×1018 ≧2
硅片规格 (mm) 对角线长度 (mm) 厚度 (μm) TTV (μm) 翘曲度 (μm)
Φ8":156±0.5 Φ8":219±0.5 180±20 ≦30 ≦40
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